特點

• 固晶精度 ± 0.2 µm* @ 3σ
• 支援所有固晶及覆晶工藝
• 高精度對準光學元件
• 採用減震系統
• 自動定位偏移修正系統
• 高分辨率 300mm 固晶台
• 動態對位系統
• 定量平行度校正
• 原位共晶固晶能力
• 3 種平同的加熱選項，包括激光焊接系統
• 支援點膠及滴膠
• 支援固晶台 UV 固化
• 固晶後檢查及滙入晶圓圖
• 無塵設備包括 HEPA 過濾系統及靜電消除器
• 模組式設計概念